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2025-01-10 17:05:48鋰電池材料表征分析
鋰電池材料表征分析主要采用X射線衍射、電子顯微鏡及光譜分析等方法,研究鋰電池材料的晶體結(jié)構(gòu)、微觀形貌及化學(xué)成分。它廣泛應(yīng)用于新能源、電動汽車及儲能領(lǐng)域,對提升鋰電池的性能、安全性和循環(huán)壽命具有重要意義。鋰電池材料表征分析具有高精度、非破壞性等技術(shù)優(yōu)勢,為材料研發(fā)、性能優(yōu)化及質(zhì)量控制提供了有力的技術(shù)支持。

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2023-06-09 17:53:53關(guān)于召開2023冶金及材料分析測試表征學(xué)術(shù)報告會暨展覽會的通知
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2022-10-30 16:48:50報計劃指南|半導(dǎo)體材料表征技術(shù)推薦
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2023-02-01 14:56:12蔡司激光共聚焦顯微鏡-微納器件的表征分析
對微納器件進行表征時,常關(guān)注的便是器件的表面形貌和三維尺寸信息,比如粗糙度、深度、體積等,這些都是評價微納加工工藝的重要指標(biāo)。然而,在進行表面三維的分析工作中,我們可能常遇到這樣的苦惱:  光學(xué)明場無法直接定位到亞微米級缺陷結(jié)構(gòu)!  樣品結(jié)構(gòu)太復(fù)雜,微弱信號無法捕獲,難以準(zhǔn)確測量尺度信息!  三維接觸式測量經(jīng)常會損傷柔軟樣品,導(dǎo)致測試結(jié)果不準(zhǔn)確!  今天,友碩小編將從下面幾個角度來看看蔡司激光共聚焦顯微鏡如何幫助你更好地解決這些問題。  失效分析:多尺度多維度原位分析!  器件表面往往存在一些特殊的結(jié)構(gòu)或缺陷,比如亞微米尺度的劃痕,這些特征難以在光學(xué)明場下被直接觀察到。C-DIC(圓微分干涉)觀察模式可以讓樣品表面亞微米尺度的微小起伏都可以呈現(xiàn)出浮雕效果,幫助我們快速定位并開展下一步的分析工作。  ▲ 不同觀察方式下晶圓表面缺陷  在定位到感興趣區(qū)域后,可以直接切換到共聚焦模式,進行表面三維形貌掃描,并進行尺寸測量及分析,無需轉(zhuǎn)移樣品即可完成樣品多尺度多維度的表征。  ▲共聚焦三維圖像及深度測量  對于某些樣品,暗場和熒光模式也是一種很好定位方法,表面起伏的結(jié)構(gòu)在暗場下尤其明顯,如藍寶石這類能發(fā)熒光的晶圓,利用熒光成像也能幫助我們快速地定位到失效結(jié)構(gòu)。甚至,共聚焦還可以和電鏡或者雙束電鏡(FIB)(點擊查看)實現(xiàn)原位關(guān)聯(lián),在共聚焦顯微鏡下進行定位后轉(zhuǎn)移樣品到電鏡下進行更高分辨的表征分析。  深硅刻蝕:結(jié)構(gòu)深,信號弱,蔡司激光共聚焦顯微鏡有辦法!  深硅刻蝕的樣品通常為窄而深的溝壑結(jié)構(gòu)。接觸式測量(如臺階儀)無法接觸到溝壑底部測得信息,而由于結(jié)構(gòu)特殊造成了反射光信號損失,常規(guī)白光干涉或者顯微明場無法捕獲底面的微弱信號。因此,不得不對樣品進行裂片分析,這不僅破壞了樣品,而且還使分析流程復(fù)雜化。  西湖大學(xué)張先鋒老師用蔡司激光共聚焦顯微鏡對深163.905 μm,寬3.734μm的刻蝕坑進行成像,高靈敏探測器、大功率激光及Z Brightness Correction技術(shù)可以幫助成功檢測到底部的微弱信號,完成大深寬比(近50:1)樣品的三維形貌表征與測量,輕松實現(xiàn)無損檢測分析。
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2022-10-12 11:37:52Webinar | 10月18日 多孔材料表征技術(shù)論壇第二彈
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