X射線管

X-ray generator

鉬/銠/ 鎢/ 銀 （可選），50kV，1mA        Mo / Rh / W / Ag Target (Option), 50kV, 1mA

探測器

Detector

SDD（硅漂移探測器）                         SDD (Silicon Drift Detector)

分辨率

Resolution limit

125±5eV                                             125eV (Mn   Kα)

X射線焦斑

X-ray coverage

聚光纖(50～100μm)                      Poly capillary optics (50 ~ 100μm)

0.035mm（可調）                         0.035mm（adjustable）

測量范圍

Measuring range

鋁（13）～ 鈾（92）                       Al (13) ~ U (92)

樣本類型

Sample type

固體/液體/粉末，多層                      Solid / Liquid / Powder, Multi-Layer

樣品室尺寸

Size of sample chamber

390×410×100mm（寬×深×高）      390 × 410 × 100 mm(W × D × H)

主要特征

Key features

- 自動/手動平臺 - 常規鍍層厚度檢測，銠，鈀，金，銀，錫，鎳- 可測多層薄膜的鍍層厚度（多達5層）

- Auto / Manual Stage Mode - Plating thickness measurement general, Rh, Pd, Au, Ag, Sn, Ni

- Film thickness measurement of multilayer thin films (up to 5Layer).

攝像頭

Camera properties

40～80倍                                 40 ~ 80x

安全性

safety

3點聯鎖                                  3point interlock

報告類型

Type of report

Excel，PDF/輸出自定義表單             Excel, PDF / output Custom form