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大口徑高溫高壓芯片退火管式爐

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大口徑高溫高壓芯片退火管式爐 核心參數(shù)
內(nèi)部尺寸 內(nèi)徑245*600mm(含管堵) 穩(wěn)定性 控溫精度±1℃
最高溫度 1000℃

產(chǎn)品特點(diǎn)

大口徑高溫高壓芯片退火管式爐設(shè)備用于較大尺寸(Z大尺寸為8英寸)襯底退火處理,設(shè)備采用電阻絲為加熱元件,保溫材料為氧化鋁纖維爐膛真空吸附成型,保溫性能好,電阻絲為內(nèi)嵌式一體成型,美觀、節(jié)能;該設(shè)備還集成了真空以及供氣系統(tǒng),滿足更多工藝條件要求。采用耐高溫金屬管為高溫爐管,滿足高溫工作條件,也能滿足真空或者一定的正壓條件實(shí)驗(yàn)要求,是一款潔凈的大尺寸樣品熱處理設(shè)備

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介:

大口徑高溫高壓芯片退火管式爐設(shè)備用于較大尺寸(最大尺寸為8英寸)襯底退火處理,設(shè)備采用電阻絲為加熱元件,保溫材料為氧化鋁纖維爐膛真空吸附成型,保溫性能好,電阻絲為內(nèi)嵌式一體成型,美觀、節(jié)能;該設(shè)備還集成了真空以及供氣系統(tǒng),滿足更多工藝條件要求。采用耐高溫金屬管為高溫爐管,滿足高溫工作條件,也能滿足真空或者一定的正壓條件實(shí)驗(yàn)要求,是一款潔凈的大尺寸樣品熱處理設(shè)備。

技術(shù)參數(shù):


型號(hào)

LFT1200C 450D254

額定功率

13KW

額定電壓

380V

最高溫度

1000℃

額定溫度

900℃

推薦升溫速率

10℃/min

爐管尺寸

(可根據(jù)客戶要求訂制)

內(nèi)徑245*600mm(含管堵)

外型尺寸(長×深×高)

1900*700*2100mm

控溫精度

±1℃

極限真空度(選件)

1.0×10-3Pa(機(jī)械泵+分子泵)

加熱元件

OCr27Al7MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金)

重量

490公斤

客戶自配裝空氣開關(guān)

40A

流量控制器技術(shù)參數(shù):

連接頭類型:Φ6雙卡套接頭

流量規(guī)格: (1000,1000,1000,1000,)sccm ,具體氣體量程 可根據(jù)工藝要求配置

準(zhǔn)確度:±1.5%

線性:±0.5~1.5%

重復(fù)精度:±0.2%

響應(yīng)時(shí)間:氣特性:1~4 Sec  電特性:10 Sec

工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

耐壓:3MPa

輸入輸出信號(hào):0 V ~ +5.00 V(輸入阻抗大于100K,輸出電流不大于3mA)

電源:+15 V 50 mA -15V 200 mA
工作環(huán)境溫度:5 ℃ ~ 45 ℃ 





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