EtO滅菌是一種低溫過程（通常在37至63°C之間），該過程使用環氧乙烷氣體降低感染因子的水平。 EtO以氣體形式使用，通常與其他物質（例如CO2或蒸汽）混合。它主要用于不能承受典型的高壓滅菌器高溫的產品，例如塑料。要監視的主要物理參數是溫度和相對濕度。

該過程的總長度可能會根據要滅菌的貨物而有所不同，但是典型的周期為36到48小時。劃分周期有兩種主要方法：三相循環和五相循環。區別在于，三相循環確實會影響曝光前和曝光后的階段。

環氧乙烷滅菌器因具有穿透力強、滅菌徹底,作用溫度低等獨特優點,是當前應用廣泛、效果可靠的滅菌方法之一,近年來被廣泛應用于醫院怕熱怕濕的醫療器械與物品的滅菌,臨床上常將打開而未使用的一次性物品或過期物品送回供應室重新進行滅菌備用。

為全面提高醫療物品滅菌質量,加強對環氧乙烷滅菌器的維護管理和質量監控進行系統管理,取得了較好效果。安全操作管理加強對環氧乙烷滅菌器安全操作管理。環氧乙烷滅菌器的正常運行會受多種因素的影響,每一環節都必須嚴格把關,由專業技術人員具體負責滅菌器的安全技術管理工作,嚴格操作規程,認真登記檢查,定期檢修登記,加強監測,確保滅菌效果。加強日常檢查和維護加強對環氧乙烷滅菌器的維護和保養,經常檢查容器的堅固體和維護保養好安全裝置,保證滅菌的可靠性。