可調諧激光器--移相干涉法測量光學表面質量
前言：確定關鍵部件的表面質量，即與預期形狀的偏差，無論是平面還是球面等，是高精度制造的關鍵。當光束照射到有疵病的光學元件表面時, 會產生雜散光。在光學系統中, 影響其性能的主要原因是由系統內部產生的大量散射光造成的, 即使整個光學系統設計得再好, 如果內部光學元件的質量不過關, 那么構成的系統也不能正常工作。
干涉儀測量方法
傳統的檢測方法由干涉儀組成，例如Twyman-Green干涉儀（如下圖所示），將測試光與參考光學進行比較。干涉儀的兩個臂之間的光程差會在光電探測器的光屏上形成干涉條紋（通常為CCD陣列）。在參考光和測試光之間引入小的傾斜度會產生干涉圖樣，其中與均勻間隔的直線條紋的任何偏差都意味著測試組件中的像差，如下所示。
雖然許多移相干涉儀都使用HeNe激光器作為光源，但使用外腔可調諧激光器（例如Newport的TLB-6700）卻具有明顯的優勢。首先，當光學元件鍍有對633 nm的抗反膜時，可選擇與光學元件的工作波長完全匹配的光。其次，通過不平衡的兩臂和改變激光波長可以實現時變相移，從而無需線性驅動器對參考光進行平移。
Newport可調諧激光器
Newport的TLB-6700系列可調諧激光器，調諧速度快，范圍寬-Z高達 100 nm，調諧波長范圍可從407-2450nm。除以上提及應用也可以用作諸如微腔諧振器和原子光譜等方面。
具有非常zhuo越的特性：
·可保證在整個指定的波長范圍內實現單模、無跳模調諧。
·電動和壓電控制可實現寬范圍掃描和微調
·低噪聲，窄線寬--是市面上ECDL激光器中線寬Z窄的·集成的光纖耦合
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