一、 前言

光學元件是激光系統和激光相關設備的基本組成單元，元件的性能直接決定了系統/設備的整體性能。近年來，激光技術的快速發展和在微電子光刻、激光加工、激光醫療、激光慣性約束聚變等領域的廣泛應用，對激光系統中大量使用的光學元件性能提出了越來越高的技術要求，不僅需要有高反射率/透過率，還需要有低吸收和散射損耗、高激光損傷閾值、高穩定性和長使用壽命。

吸收損耗是影響光學性能的重要參數.在強激光系統中,光學材料/薄膜的吸收會導致抗激光損傷能力的明顯下降;光通信領域中,吸收會導致各種高性能光學薄膜濾光片損耗增加、性能下降甚至失效.目前性能優異的介質薄膜在可見及近紅外波段的吸收率已經達到10-7量級甚至更小.傳統的分光光度法、消光系數換算法等方法已無法滿足測量要求.表面熱透鏡技術是近年來發展起來的測量薄膜微弱吸收的一種新手段,它具有靈敏度高、調節方便等優點.而表面熱透鏡技術又根據探測光與泵浦光夾角又有幾種細分方法，比如常見的光熱共光路法，光熱偏轉法等。

二、 LID光熱偏轉法

1. 測量原理-光熱偏轉技術 

此系統采用光熱偏轉技術，用于測量透明光學材料及鍍膜產品受到激光照射后產生的微弱吸收。在強激光照射下，材料內部由于吸收熱能產生折射率梯度現象（熱透鏡效應），當一束探測光經過“熱透鏡”效應區域時發生位置偏移，通過PSD位移傳感器測量其位置偏移量。 

2. 絕對值-LID電極校準

LID系統Z大特點在于采用特別的校準方法-電加熱法進行不同材料及規格的樣品進行校準得到標準曲線。通過校準標準曲線及pump激光的平均功率計算得出吸收系數。 

不論是校準測量還是實際測量，采用“off /on”的測量模式，即不加熱時測量探測光在PSD位移傳感器的初始位置S0,穩定一段時間后，電流/激光加熱后探測光位置發生變化為S’， S’- S0差值即為位移偏移量。

校準時，采用1-2種相同幾何形狀的樣品，在材料上鉆孔，插入熱電阻，然后提供電流加熱，得到偏轉位移與電流的關系，從而得到該種材料的標準吸收系數即矯正因子Fcal。

                   體校準                                                                           面校準       

3. 測量模式

根據客戶不同的樣品材料特性及尺寸可以定制不同測量模式:

三、  LID弱吸收儀

1. 技術參數說明

2. 安裝實物圖

3. DUV 193nm應用

4. 軟件界面及測量報告

目前LID光熱偏轉法弱吸收儀已經廣泛應用于玻璃廠家，比如蔡司、Schott、Corning、賀利氏、Layertec等，國內長春光機所、北京玻璃研究院、成都光電所、武漢長飛等，其0.1ppm的靈敏度及豐富的光刻機相關產品應用經驗受到客戶的一致好評。